著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
F. McCluskey,RF容量結合分子ビームプラズマ内におけるシリコン窒化物の超微粒子の生成〔英文〕,東京電機大学工学部研究報告,0389617X,東京 : 東京電機大学工学部,1994-12,,42,p17-28,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290883248792320,