RF容量結合分子ビームプラズマ内におけるシリコン窒化物の超微粒子の生成〔英文〕
Bibliographic Information
- Other Title
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- RF ヨウリョウ ケツゴウ ブンシ ビーム プラズマナイ ニ オケル シリコン
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資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
Journal
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- 東京電機大学工学部研究報告 / 東京電機大学工学部 編
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東京電機大学工学部研究報告 / 東京電機大学工学部 編 (42), p17-28, 1994-12
東京 : 東京電機大学工学部
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290883248792320
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- NII Article ID
- 40004362808
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- NII Book ID
- AN00162961
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- ISSN
- 0389617X
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- NDL BIB ID
- 3627900
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles