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梅津 岳 and 中田 悠介 and 清水 英彦,基板バイアススパッタ法によるITO薄膜の検討(2),電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2007-08,107,178,33-38,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290883255323520,