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畝田 道雄 and 前田 有樹 and 澁谷 和孝,ポリシングパッド表面性状の定量評価手法の開発とその応用 : 研磨レートに及ぼすパッド表面性状の影響に関する多面的検討,砥粒加工学会学術講演会講演論文集 ABTEC,,東京 : 砥粒加工学会,2012,,,5-9,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290883292895744,