著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
星 陽一 and 清村 貴利,低温成膜したITO薄膜の微細構造,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2001-08-03,101,245,7-12,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290883355409152,