著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
森野 明彦 and 野澤 龍介,グラビアとインタビュー 精密工学の最前線 半導体先端テクノロジーズ/産業技術総合研究所スーパークリーンルーム産学官連携研究棟 森野明彦,精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering,09120289,東京 : 精密工学会,2002-09,68,9,1133-1136,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290883391518336,