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初沢 毅 and 井上 尚紀 and 早瀬 仁則,シリコン単結晶の異方性エッチングを用いた微小段差基準片,計測自動制御学会論文集 = Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers,04534654,東京 : 計測自動制御学会 ; [1965]-,2000-08,36,8,645-649,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290883441574400,