著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
池野 順一,シリコンウエーハの固定砥粒研磨,Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology,09142703,東京 : 砥粒加工学会,2000-10,44,10,433-436,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290883666991360,