著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) ,特集 複雑な構造を多様な材料で実現する技術,"電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines",13418939,東京 : 電気学会,2002-08,122,8,391-408,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290883667654656,