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村田 祐貴 and 南 佑人 and 寒川 雅之 and 安部 隆,自己加熱式ステージを用いたチタンの熱反応性イオンエッチングとその最適化,「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編],,[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan,2015-10,32,,1-5,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290883797531648,