著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
板東 賢一 and 福原 聡 and 横田 眞一,むだ時間を有するプロセスに対する離散時間スライディングモード制御と半導体製造用クーリングプレートへの適用,日本機械学会論文集. C編,03875024,東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010,2003-06,69,682,1587-1594,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290884154735232,