著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 三谷 智明,高周波グロー放電を用いた電子顕微鏡試料作製技術,Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology,09142703,東京 : 砥粒加工学会,2020-11,64,11,555-558,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290884441117952,