著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
福谷 修平 and 浅倉 秀一 and 不破 章雄,銅微細パターン作製のための172nm真空紫外光を用いた液晶ポリマーフィルムの表面改質,エレクトロニクス実装学会誌 = Journal of the Japan Institute of Electronics Packaging,13439677,東京 : エレクトロニクス実装学会,2005-07,8,4,325-329,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290884722440448,