著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
岩田 博之 and 高木 誠 and 徳田 豊,Observation of Defect Distribution in H Ion Implanted Silicon,愛知工業大学総合技術研究所研究報告,13449672,豊田 : 愛知工業大学総合技術研究所,2000-06,,2,33-38,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290884736161664,