Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
Noriaki Toyoda and Isao Yamada,New getting method for thinned Si using gas cluster ion beam,"兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo",,姫路 : 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室,2012,,,27-29,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290884814071424,