著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 山元 純文 and 滝川 展啓 and 伊藤 和晃,ボールねじ駆動テーブル装置での微小変位動作における非線形摩擦の解析と一補償法,電気学会研究会資料. IIC,,東京 : 電気学会,2007-03-07,2007,85-99,1-6,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290885029830016,