著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
石内 秀美,招待講演 ITRS 2011年版の概要と半導体技術の将来動向,半導体・集積回路技術シンポジウム講演論文集 = Proceedings of Symposium on Semiconductors and Integrated Circuits Technology,,東京 : 電気化学会電子材料委員会,2012-07,76,,7-10,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290885032412032,