著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
保坂 誠 and 張 延平 and 上野 洋,小型SR光ビームラインを用いたPMMAの高アスペクト比X線リソグラフィーの検討,立命館大学理工学研究所紀要 = Memoirs of the Institute of Science & Engineering,03704254,草津 : 立命館大学理工学研究所,1996,,55,155-162,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290885150046720,