著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 梅津 郁朗 and 小浜 芳春 and 青木 かおり,シリコンの表面プラズマ処理と表面状態,甲南大学紀要. 理学編,04524160,神戸 : 甲南大学,1998,45,1,69-76,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290885158975232,