著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 西田 五佐夫,アルゴンイオンビームによるスパッタリングー1-装置の製作とその特性,鳥取大学教育学部研究報告. 自然科学,03715965,鳥取 : 鳥取大学教育学部,1977-06,27,2,p95-103,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290885195700736,