著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
津久井 克幸 and 大泊 巌,Si表面酸素の除去,応用物理,03698009,東京 : 応用物理学会,1992-11,61,11,p1165-1166,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290885213383936,