著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 山崎 舜平 and 白石 正,a Si:H膜中のN濃度の検定,応用物理,03698009,東京 : 応用物理学会,1984-07,53,7,p644-647,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290885217419136,