分光エリプソメトリーによる化合物半導体の光学特性評価

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  • ブンコウ エリプソメトリー ニ ヨル カゴウブツ ハンドウタイ ノ コウガク

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記事分類: 物理学--分子・物性--光物性

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 62 (12), p1197-1203, 1993-12

    東京 : 応用物理学会

参考文献 (25)*注記

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