著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,レーザーおよび放射光の半導体プロセス分野への応用特集号,レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌,03870200,吹田 : レーザー学会,1998-06,26,6,413-472,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290885254471680,