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内田 敬久 and 山田 諄 and 渡辺 茂男,傾斜機能材料のエキシマレーザー加工時に生成するプラズマの時間空間分解特性,レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌,03870200,吹田 : レーザー学会,1998-11,26,11,816-820,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290885256946176,