著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
大河 正志 and 井筒 雅之 and 末田 正,カンチレバ構造を用いたシリコン基板光集積回路流量センサ,レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌,03870200,吹田 : レーザー学会,1991-06,19,6,p544-550,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290885257635584,