著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
深海 竜夫 and 土屋 英俊,高周波スパッタリングによる化学量論的KTa1-xNbxO3膜の作製,"電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials",03854205,東京 : 電気学会,1977-06,97,6,p322-328,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290885261336448,