著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
工藤 昭吉 and 増田 淳 and 和泉 亮,Cat-CVD SiNx膜の面内均一性向上に関する検討,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,1999-04-22,99,21,59-66,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290885263722752,