著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
野田 和宏 and 小西 亮介 and 笹倉 博,対向ターゲット式スパッタ法によるZnO:Al薄膜の基板温度依存性,"電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2",09151907,東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクス ソサイエティ,1991-03,74,3,p205-207,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290885267942400,