著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
村上 健司,高周波イオンプレーティング装置の製作,静岡大学電子工学研究所研究報告,02863383,浜松 : 静岡大学電子工学研究所,1987-08,22,1,p29-35,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290885278366080,