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神田 岳文 and 森田 剛 and 黒澤 実,PZT薄膜による縦振動子を用いた振動形プローブセンサ,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,1999-06-21,99,132,21-28,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290885283958016,