著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
門倉 貞夫 and 直江 正彦 and 本庄 和彦,水平磁界内蔵形対向ターゲット式スパッタリング,"電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2",09151907,東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクス ソサイエティ,1991-08,74,8,p642-651,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290885287100800,