著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
嶋 昇平,アルミニウム配線のバリア材,まてりあ = Materia Japan,13402625,仙台 : 日本金属学会 ; 1994-,1997-06,36,6,582-586,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290885303505280,