著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
獅子口 清一,MOS-FETの微細化に関わるイオン注入技術,まてりあ = Materia Japan,13402625,仙台 : 日本金属学会 ; 1994-,1999-02,38,2,111-114,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290885312195200,