Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI) 服部 友彦,モジュール型高速多機能装着機「NXT2」,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2008-10,47,10,98-101,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520291853558111104,