Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
(株)ササクラ,ホットオゾン水によるレジスト剥離,JETI = ジェティ : Japan energy & technology intelligence : エネルギー・化学・プラントの総合技術誌,02894343,東京 : 日本出版制作センター,2013-12,61,13,39-41,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520291854772925056,