著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
三木 正博,半導体産業における水の回生,Ultra clean technology,09170367,東京 : 半導体基盤技術研究会,1999-04,11,2,60-64,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520291854836000896,