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佐々木 昌 and 若林 秀一 and 藤原 剛史,気体用熱式半導体フローセンサの開発--サーモパイル測温体に適したHパターンエッチングホールについて,Omron technics : オムロングループ技術論文誌,04741315,木津川 : オムロン技術・知財本部,2001,41,2,144-149,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520291854914227968,