著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
若林 整,hp32/22nmノードに向けたFEOLの技術動向,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2010-05,49,5,18-21,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520291854920159488,