Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
斉藤 康子 and 木邑 正儀 and 吉村 隆,レーザ計測 レチクル検査装置用システムソフトウェアの開発,NEC技報 = NEC technical journal,02854139,東京 : 日本電気,2001-09,54,9,55-58,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520291854952648192,