著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,明日の主役 平面度32ナノメートルの「究極の平面」作りに挑む--浜井産業(株) 富岡史匡さん,能力開発21,13466275,東京 : 中央職業能力開発協会,2009-03,30,3,16-18,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520291855016278784,