Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
中野 雅之,液浸プロセス対応レジスト塗布現像装置「CLEAN TRACK LITHIUS i」,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2005-03,44,3,36-38,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520291855165978368,