著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
土肥 俊郎,超精密ポリシングと半導体平坦化CMP,月刊トライボロジー,09146121,東京 : 新樹社,2001-07,15,7,12-15,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520291855290900224,