著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 水谷 亘,STM′90会議報告,真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan,05598516,東京 : 日本真空協会,1990-10,33,10,p818-824,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520291855405689088,