著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
江刺 正喜,MEMS技術の最新動向--東北大学におけるプロジェクト,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2010-07,49,7,10-14,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520291855423084544,