著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 福田 靖,マイクロンチャック・ハイデュアルチャックの機能と活用,機械技術 = Mechanical engineering,04519396,東京 : 日刊工業新聞社,2014-07,62,7,33-35,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520291855459652352,