著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 五十嵐 泰史 and 伊東 敏雄,サブクォータミクロンロジックLSI用高信頼性銅配線の開発,沖電気研究開発,0286892X,東京 : 沖電気工業沖時報編集委員会,1997-04,64,2,67-72,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520291855512991744,