Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
中川 和典,太陽電池シリコンウェハ用表面処理剤の技術,JETI = ジェティ : Japan energy & technology intelligence : エネルギー・化学・プラントの総合技術誌,02894343,東京 : 日本出版制作センター,2012-05,60,5,69-72,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520291855526989184,