著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
大西 隆,スパッタリング・高圧リフロープロセスによるCu合金配線形成技術,金属,03686337,東京 : アグネ技術センター,2007-08,77,8,866-871,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520291855593960960,