著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
原田 宙幸,ICウエハ洗浄での節水対策,空気清浄 : コンタミネーションコントロール,00235032,東京 : 日本空気清浄協会,1997-11,35,4,221-226,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520291855658747648,